全(quán)球最(zuì)大(dà)納米(mǐ)科技实验裝(zhuāng)置向(xiàng)用(yòng)户開(kāi)放(fàng)

NANO-X由(yóu)中科院(yuàn)、江苏省(shěng)、苏州市、苏州工業園(yuán)区四(sì)方(fāng)投資共(gòng)建，由(yóu)中科院(yuàn)苏州納米(mǐ)所(suǒ)承建。該裝(zhuāng)置集材料生(shēng)长(cháng)、器件(jiàn)加工、測試分(fēn)析为(wèi)一(yī)體(tǐ)，首期(qī)投入3.2亿(yì)人(rén)民(mín)幣(bì)，二(èr)期(qī)計(jì)劃(huà)投入3.68亿(yì)人(rén)民(mín)幣(bì)。

2019年(nián)6月(yuè)，NANO-X完成(chéng)一(yī)期(qī)項目（小型验证裝(zhuāng)置）總(zǒng)验收(shōu)。NANO-X一(yī)期(qī)可(kě)初步实現(xiàn)納米(mǐ)材料表(biǎo)面(miàn)或(huò)界面(miàn)調控，突破异(yì)質(zhì)材料集成(chéng)難題(tí)。NANO-X二(èr)期(qī)目前正在(zài)建設中，建成(chéng)後(hòu)将在(zài)一(yī)期(qī)基礎上(shàng)進(jìn)一(yī)步提(tí)升，例如(rú)将開(kāi)展(zhǎn)低(dī)維量子材料與(yǔ)器件(jiàn)的(de)研發(fà)，探索超導量子比特(tè)的(de)全(quán)新制備工藝等。

NANO-X的(de)最(zuì)大(dà)亮(liàng)點(diǎn)是(shì)实現(xiàn)多(duō)个(gè)納米(mǐ)科技实验平台(tái)的(de)真(zhēn)空(kōng)互聯。

“材料的(de)尺寸(cùn)越小，它们的(de)表(biǎo)面(miàn)效應(yìng)或(huò)量子效應(yìng)就(jiù)越明(míng)顯。比如(rú)，納米(mǐ)級光(guāng)電(diàn)器件(jiàn)在(zài)制備过(guò)程中的(de)某些(xiē)工藝环(huán)节一(yī)旦暴露(lù)在(zài)空(kōng)气(qì)中後(hòu)，可(kě)能(néng)会(huì)对(duì)材料性(xìng)能(néng)産生(shēng)很大(dà)影響。” 中科院(yuàn)苏州納米(mǐ)所(suǒ)副研究員李坊森(sēn)说(shuō)。

李坊森(sēn)介紹，以(yǐ)往國(guó)內(nèi)進(jìn)行納米(mǐ)科技研究的(de)平台(tái)小而(ér)分(fēn)散(sàn)。納米(mǐ)材料在(zài)某个(gè)平台(tái)上(shàng)生(shēng)长(cháng)出(chū)来(lái)後(hòu)，需要(yào)從真(zhēn)空(kōng)中取(qǔ)出(chū)，到(dào)另(lìng)一(yī)个(gè)平台(tái)進(jìn)行測試分(fēn)析，取(qǔ)出(chū)过(guò)程可(kě)能(néng)使納米(mǐ)材料特(tè)性(xìng)受損。

NANO-X正是(shì)为(wèi)了(le)解(jiě)決納米(mǐ)科技研發(fà)中的(de)这(zhè)些(xiē)關(guān)键共(gòng)性(xìng)難題(tí)而(ér)建設的(de)。李坊森(sēn)告訴科技日(rì)報記(jì)者(zhě)，一(yī)方(fāng)面(miàn)，NANO-X通(tòng)过(guò)設備的(de)真(zhēn)空(kōng)互聯为(wèi)“敏感(gǎn)”的(de)納米(mǐ)材料提(tí)供了(le)必要(yào)的(de)真(zhēn)空(kōng)保護。

另(lìng)一(yī)方(fāng)面(miàn)，它将材料生(shēng)长(cháng)、器件(jiàn)加工、測試分(fēn)析等納米(mǐ)科技研發(fà)的(de)全(quán)鍊(liàn)条(tiáo)銜接在(zài)一(yī)个(gè)平台(tái)上(shàng)，有(yǒu)利于(yú)保证納米(mǐ)材料特(tè)性(xìng)的(de)穩定(dìng)，從而(ér)提(tí)升納米(mǐ)器件(jiàn)的(de)性(xìng)能(néng)。

“目前，NANO-X一(yī)期(qī)已面(miàn)向(xiàng)全(quán)球用(yòng)户開(kāi)放(fàng)。希望在(zài)NANO-X上(shàng)進(jìn)行納米(mǐ)技術(shù)研發(fà)的(de)团(tuán)隊可(kě)在(zài)网上(shàng)提(tí)出(chū)申請。” 李坊森(sēn)介紹，目前提(tí)出(chū)申請的(de)用(yòng)户不(bù)僅有(yǒu)高(gāo)校(xiào)科研院(yuàn)所(suǒ)的(de)研究团(tuán)隊，還(huán)有(yǒu)納米(mǐ)科技領域的(de)企業等。